產(chǎn)品介紹

表面清潔度分析儀Automatic Flat Panel Cleanness Analyzer / Water Drop Angle Meter
Model LCD1000A/LCD1000M

LCD系列表面清潔分析儀為美國(guó)科諾研制的行業(yè)性分析儀器，可在分析測(cè)試水滴在液晶屏、晶圓（Wafer）、芯片或PCB板表面的形成的角度值的基礎(chǔ)上，進(jìn)而分析Plasma效果，是一種基于界面化學(xué)分析系統(tǒng)的表面清潔度測(cè)試系統(tǒng)。
本系列表面清潔度分析儀由儀器主機(jī)和CAST™2.0水滴角分析軟件兩個(gè)部分組成。根據(jù)樣品臺(tái)移動(dòng)方式不同，我們將儀器主機(jī)分為自動(dòng)（LCD1000A）、手動(dòng)（LCD1000M）兩種。樣品臺(tái)尺寸及其控制行程可根據(jù)客戶(hù)要求定制。我們?yōu)閺V大客戶(hù)提供性能，價(jià)格合理的儀器以及化的產(chǎn)品，期盼為客戶(hù)的研發(fā)與品質(zhì)控制提供的服務(wù)。

一、LCD系列表面清潔分析儀的產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
1、人性化的設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)單；
→選購(gòu)自動(dòng)注射泵，可完成自動(dòng)進(jìn)液控制，精度可達(dá)0.02uL
→自動(dòng)修正鏡頭傾斜角度以及水平線傾斜角度
→按測(cè)試，軟件自動(dòng)完成拍照、分析敏感點(diǎn)、計(jì)算角度值
2、全區(qū)域測(cè)試，可支持各種規(guī)格面板
→480*480（LCD-400S）
→750*750（LCD-700S）
→900*700（LCD900S）
→1400*1400（FPD）
3、數(shù)據(jù)庫(kù)管理技術(shù)
→歷史數(shù)據(jù)可查詢(xún)
→可導(dǎo)出為EXCEL文檔及BMP圖片
→可錄相AVI格式，供制作PPT所用
4、CAST2.0具有多項(xiàng)技術(shù)
→多達(dá)6種以上接觸角計(jì)算辦法
→多達(dá)12種固體表面自由能估算模型
→支持曲面校準(zhǔn)技術(shù)
→支持粘附功計(jì)算、WBA分析等

二、LCD系列表面清潔分析儀的功能實(shí)現(xiàn)：
1、測(cè)試前：
（1）通過(guò)調(diào)整進(jìn)樣器前后、左右、上下移動(dòng)（XYZ）及鏡頭俯仰角度和升降（Z向），實(shí)現(xiàn)調(diào)整焦距的目的。
（2）通過(guò)控制導(dǎo)軌前后、左右移動(dòng)（XY），將注射泵移動(dòng)至角落后，以方便裝樣。
2、測(cè)試過(guò)程中：
（1）通過(guò)導(dǎo)軌前后、左右方向（XY）的移動(dòng)控制，實(shí)現(xiàn)樣品上不同點(diǎn)的水滴角度值的測(cè)試；
（2）通過(guò)移動(dòng)進(jìn)樣器升降移動(dòng)（Z向），完成液滴移液過(guò)程（將水液滴轉(zhuǎn)移到液晶屏上）；
（3）通過(guò)進(jìn)樣器注出液滴，進(jìn)行角度分析，精度可達(dá)0.02uL。
3、測(cè)試實(shí)現(xiàn)方法：
（1）通過(guò)相機(jī)捕捉液滴在液晶屏上的圖片后，分析敏感點(diǎn)，計(jì)算得出角度值；
（2）計(jì)算辦法：θ/2法（WH法）或圓擬合法；
（3）軟件對(duì)鏡頭的俯視角度進(jìn)行適當(dāng)?shù)男拚?，以期?shí)現(xiàn)更的測(cè)量。

三、技術(shù)參數(shù)：軟件分析基于CAST2.0分析系統(tǒng)